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  1. 量产型机台
  2. 研发型机台
  3. 定制型产品
  • 量产型机台

    悟空体育自主设计的首款团簇式ALD设备,是集成电路先进工艺的关键薄膜沉积设备,基于自主研发的Elegant Cluster平台打造。

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  • 研发型机台

    悟空体育的第三代研发型ALD/ALE设备,以更加人性化的操作设计提升用户体验,主要针对高校、科研院所和小批量生产客户。

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  • 定制型产品

    原磊自主开发的批量原子层沉积设备,极大提高了产能并降低了生产和设备成本,主要针对高产能的工业型客户。

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关于悟空体育
悟空体育 - 世界杯官网最新体育资讯、赛事报道与专业分析 (简称“悟空体育”)成立于2018年9月,由具有近20年半导体设备、工艺研发经验的专业团队创建,致力于成为高端半导体镀膜设备供应商。公司产品主要涵盖原子层沉积(ALD)设备和硅锗外延(EPI)设备,可广泛应用于2.5D、3D先进封装、化合物半导体以及28nm以下先进制程逻辑存储工艺。
  • 全线产品对标海外大厂

    领跑国内厂商,先后荣获高新技术企业、南京市培育独角兽企业、江苏省专精特新中小企业等荣誉。

  • 下设四家全资子公司

    悟空体育旗下设四家全资子公司,形成协同发展的业务布局: 悟空体育材料(徐州)有限公司成立于2021年5月,具备行业高标准的装配、测试与研发中心; ANAME PTE LTD 新加坡原磊于2022年底设立,构建了覆盖海外销售、技术研发与供应链支持的全球服务网络; 铜陵源和半导体子公司于2024年6月成立,专注于精密加工、焊接、表面处理、洁净清洗、组装调试及原材料退火等工艺服务; 悟空体育材料(武汉)有限公司成立于2025年3月,作为技术协创中心,致力于前沿技术研发;

  • 打造纯国产半导体设备的高端民族品牌

    悟空体育以掌握设备、材料、工艺与零部件等核心技术为发展目标,专注于先进半导体镀膜设备的定制化研发、生产与销售。公司以革新者为使命,致力于突破国内半导体设备制造的传统模式,以领先的薄膜设备设计理念为基础,依托强大的半导体工艺与材料能力,通过自主创新与产业链垂直整合,全力打造具有国际竞争力的纯国产高端半导体设备民族品牌,助力全球半导体产业创新发展,持续引领技术前沿。

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